轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和怠速功能，實(shí)現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運(yùn)營(yíng)成本。 耐腐蝕材料選項(xiàng)可用于廣泛的應(yīng)用，從負(fù)載鎖和 SEM 等輕負(fù)載應(yīng)用到腐蝕性工藝。

特長(zhǎng)
通過寬范圍溫度控制實(shí)現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料)
對(duì)應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等

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