轉(zhuǎn)子設(shè)計和怠速功能，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運(yùn)營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應(yīng)用，從負(fù)載鎖和 SEM 等輕負(fù)載應(yīng)用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對腐蝕性氣體(標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料)
對應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗